技術情報の提供（材料・加工技術室）

新設機器の紹介　『走査電子顕微鏡』

• ［機器名］
  　走査電子顕微鏡
  
  
• ［型式］
  　日本電子株式会社　JSM-7200F
  
  
• ［主な仕様］
• ・電子銃：電解放出形
• ・分解能：1.0nm（加速電圧20kV）
• 1.6nm（加速電圧1kV）
• ・倍率：10～1,000,000倍
• ・試料室サイズ：直径150mm×高さ40mm
• ・対物レンズ方式：アウトレンズ形

写真１　走査電子顕微鏡

［機器概要・用途］
　この機器は、細く絞った電子線を用いることで、試料表面の状態を観察することができる装置です。特に、凸凹のある試料を立体的に観察することが可能です。金属部品の破壊原因の究明（破面観察）やめっき層の厚さの確認などに活用できます。

　導入した機器は、電子銃に電界放出形電子銃を用いた走査電子顕微鏡（FE-SEM）で熱電子銃を用いる汎用SEMと比較すると電子線を細く収束させることができるため、より高倍率での観察が可能です。

　下図は、プリンターのトナー粒を観察倍率14万倍で観察した結果です。

写真２　プリンターのトナー粒電子顕微鏡画像