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広島市産業振興センターNEWS

技術情報の提供(材料・加工技術室)

新設機器の紹介 『走査電子顕微鏡』


 技術振興部(広島市工業技術センター内)では、広島市の中小企業が抱えている技術的な課題に対応するため、試験・検査用機器の整備を進めています。

平成28年度は、(公財)JKAの補助を受けて広島市が下記の機器を整備しました。

  • [機器名]
     走査電子顕微鏡

  • [型式]
     日本電子株式会社 JSM-7200F

  • [主な仕様]
  • ・電子銃:電解放出形
  • ・分解能:1.0nm(加速電圧20kV)
  • 1.6nm(加速電圧1kV)
  • ・倍率:10~1,000,000倍
  • ・試料室サイズ:直径150mm×高さ40mm
  • ・対物レンズ方式:アウトレンズ形

写真1 走査電子顕微鏡

写真1 走査電子顕微鏡

[機器概要・用途]
 この機器は、細く絞った電子線を用いることで、試料表面の状態を観察することができる装置です。特に、凸凹のある試料を立体的に観察することが可能です。金属部品の破壊原因の究明(破面観察)やめっき層の厚さの確認などに活用できます。

 導入した機器は、電子銃に電界放出形電子銃を用いた走査電子顕微鏡(FE-SEM)で熱電子銃を用いる汎用SEMと比較すると電子線を細く収束させることができるため、より高倍率での観察が可能です。

 下図は、プリンターのトナー粒を観察倍率14万倍で観察した結果です。

写真2 プリンターのトナー粒電子顕微鏡画像

写真2 プリンターのトナー粒電子顕微鏡画像

写真3 写真2の□部の拡大

写真3 写真2の部の拡大


■問い合わせ先 技術振興部 材料・加工技術室(広島市工業技術センター内)  TEL 082-242-4170(代表)  E-mail kougi@itc.city.hiroshima.jp

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 技術振興部(広島市工業技術センター内)では、広島市の中小企業が抱えている技術的な課題に対応するため、試験・検査用機器の整備を進めています。

平成28年度は、(公財)JKAの補助を受けて広島市が下記の機器を整備しました。

  • [機器名]
     走査電子顕微鏡

  • [型式]
     日本電子株式会社 JSM-7200F

  • [主な仕様]
  • ・電子銃:電解放出形
  • ・分解能:1.0nm(加速電圧20kV)
  • 1.6nm(加速電圧1kV)
  • ・倍率:10~1,000,000倍
  • ・試料室サイズ:直径150mm×高さ40mm
  • ・対物レンズ方式:アウトレンズ形

写真1 走査電子顕微鏡

写真1 走査電子顕微鏡

[機器概要・用途]
 この機器は、細く絞った電子線を用いることで、試料表面の状態を観察することができる装置です。特に、凸凹のある試料を立体的に観察することが可能です。金属部品の破壊原因の究明(破面観察)やめっき層の厚さの確認などに活用できます。

 導入した機器は、電子銃に電界放出形電子銃を用いた走査電子顕微鏡(FE-SEM)で熱電子銃を用いる汎用SEMと比較すると電子線を細く収束させることができるため、より高倍率での観察が可能です。

 下図は、プリンターのトナー粒を観察倍率14万倍で観察した結果です。

写真2 プリンターのトナー粒電子顕微鏡画像

写真2 プリンターのトナー粒電子顕微鏡画像

写真3 写真2の□部の拡大

写真3 写真2の部の拡大


■問い合わせ先 技術振興部 材料・加工技術室(広島市工業技術センター内)  TEL 082-242-4170(代表)  E-mail kougi@itc.city.hiroshima.jp

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